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VHFスパッタリング法により作製した水素化アモルファス炭素薄膜の基板バイアスの効果松井, 謙治; 喜友名, 達也; 比嘉, 晃; 渡久地, 實; Matsui, Kenji; Kiyuna, Tatsuya; Higa, Akira; Toguchi, MinoruMar-2000

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